«

»

พ.ย.
05

การเตรียมฟิล์มบางอินเดียมทินออกไซด์ลงบนวัสดุรองรับที่อุณหภูมิต่ำโดยวิธี ดีซี พัลส์ แมกนีตรอน สปัตเตอริง

การเตรียมฟิล์มบางอินเดียมทินออกไซด์ลงบนวัสดุรองรับที่อุณหภูมิต่ำโดยวิธี
ดีซี พัลส์ แมกนีตรอน สปัตเตอริง

ฉันทนา สาลวัน ณัฐรดา สถาวร และ กิติพัฒน์อนุรักษ์ฤานนท์
Chantana Salawan, Natrada Satavorn and Kitipat Anurakruenon

 คำนำ

            ฟิล์มบางอินเดียมทินออกไซด์ถูกนำมาใช้ประโยชน์มากมายเช่น เป็นขั้วไฟฟ้าโปร่งแสงสำหรับจอภาพแสดงผล (Chung. et al., 2005) เซลล์แสงอาทิตย์ (Hino. et al., 2006) อุปกรณ์อิเล็กโตรโครมิกส์ (Pinheiro. et al., 2008) และอื่น ๆ มากมาย โดยฟิล์มที่ดีจะต้องมีค่าสภาพต้านทานไฟฟ้าที่ต่ำ ในการประยุกต์ใช้ฟิล์มบางอินเดียมทินออกไซด์ที่เตรียมลงบนแผ่นกระจกนั้นมีความยุ่งยากต่อการเคลื่อนย้าย ไม่สามารถเคลื่อนย้ายได้ครั้งละมาก ๆ เนื่องจากกระจกมีน้ำหนักมาก แตกหักได้ง่าย อีกทั้งยังไม่สามารถโค้งงอได้อีกด้วย จึงต้องขนย้ายด้วยความระมัดระวัง จากปัญหาดังกล่าวจึงได้มีผู้วิจัยหลายท่านมุ่งเน้นที่จะศึกษาการเตรียมฟิล์มบางอินเดียมทินออกไซด์ ลงบนวัสดุชนิดอื่น ๆ ที่มีน้ำหนักเบา เช่นการเคลือบลงบนแผ่นพลาสติก (Kim. et al., 2003; Hao. et al., 2008; Pinheiro. et al., 2008) เพื่อลดน้ำหนักของแผ่นรองรับและยังสามารถม้วนงอได้ ทำให้สะดวกและขนย้ายได้ง่าย จึงเหมาะสำหรับการนำไปประยุกต์ใช้ในงานด้านต้าง ๆ เช่น แผงโซลาร์เซลล์ที่มีน้ำหนักเบาและจอภาพ (Touch Panel Display) เป็นต้น อย่างไรก็ตามวัสดุรองรับที่เป็นพลาสติกนั้นจะทนความร้อนได้ไม่สูง และในการเตรียมฟิล์มบางนั้น บางเทคนิคจะทำให้เกิดความร้อนบนวัสดุรองรับที่อุณหภูมิสูงโดยเฉพาะการเตรียมฟิล์มบางด้วยเทคนิค        แมกนีตรอน สปัตเตอริง (Jung. et al., 2004; Zhao. et al., 2005; Chung. et  al., 2005) เนื่องจากทำให้ฟิล์มที่เตรียมได้มีความบริสุทธิ์สูง ไม่เกิดสารตกค้างที่เป็นพิษ และมีการยึดเกาะกับวัสดุรองรับที่ดี

ในงานวิจัยนี้ผู้วิจัยมุ่งเน้นที่จะทำการศึกษาเทคนิคการเคลือบฟิล์มบางอินเดียมทินออกไซด์ด้วยเทคนิค แมกนีตรอน สปัตเตอริง แบบ ดีซี พัลส์ และ ดีซี เพื่อศึกษาอิทธิพลของกำลังไฟฟ้า เวลาที่ใช้ในการเคลือบฟิล์ม ต่อสมบัติต่าง ๆ ของฟิล์มโดยเฉพาะสมบัติทางไฟฟ้าและอุณหภูมิของวัสดุรองรับที่เกิดขึ้น เพื่อหาเงื่อนไขที่เหมาะสมสำหรับนำไปใช้ในการเตรียมฟิล์มลงบนวัสดุที่มีน้ำหนักเบา มีความยืดหยุ่น (Flexible)  แต่ทนความร้อนได้ไม่มาก เช่น พลาสติก

รายละเอียดเพิ่มเติม

Print Friendly, PDF & Email